江西万年芯微电子年产10000kk集成半导体电路芯片项目周报（第二十周）

一、 项目整体进展概述

本周（第二十周），江西万年芯微电子有限公司年产10000kk集成半导体电路芯片项目各项工作按计划稳步推进。项目整体已进入主体厂房洁净室装修、核心工艺设备进场安装的关键阶段。本周工作重心集中在洁净室内部管道系统安装、部分动力设备单机调试，以及光刻机等首批核心设备的开箱检验与定位准备上。项目总体进度符合主计划要求，累计完成总工程量的约65%。

二、 本周主要工作完成情况

1. 土建与洁净室工程：

• 完成主厂房二层核心区洁净室FFU（风机过滤单元）吊架安装的90%。

• 完成大宗气体（氮气、氧气、氩气）管道主管路铺设及压力测试。

• 工艺冷却水系统（PCW）主管路安装完成，正在进行支管连接。

• 化学品供应系统的管材入场检验完成，开始进行施工技术交底。

1. 机电安装工程：

• 完成两套冰水主机的单机通电调试，运行参数正常。

• 厂务监控系统（FMCS）的硬件柜体安装就位，开始进行现场传感器布线。

• 应急发电机完成燃料系统连接，待消防验收后进行带载测试。

1. 核心设备进展：

• 首批ASML光刻机及配套设备已运抵项目现场仓库，完成外包装检查。项目团队协同设备供应商工程师，本周内完成了开箱前场地条件（温湿度、洁净度、地面承重）的最终确认。

• 首批薄膜沉积（CVD/PVD）设备及刻蚀设备已完成厂内FAT（出厂验收），预计下周抵运。

• 首批晶圆检测设备的基座预埋件安装完成。

1. 质量与安全管理：

• 组织进行了针对洁净室施工规范的专项质量检查，共发现3处一般性不符合项，已下发整改单并跟踪闭环。

• 开展了“高处作业与临时用电”安全周主题活动，进行安全培训一次，现场巡查发现并纠正违章行为2起，本周安全生产形势平稳，无事故报告。

三、 存在的问题与应对措施

• 问题： 部分进口特种阀门因国际物流原因，到货时间比原计划延迟约一周，可能影响后续局部管线的压力测试进度。
• 措施： 已启动备用供应商渠道，协调加急采购部分可替代的国产阀门用于临时测试。物流部门正密切跟踪延迟阀门的清关与运输状态，争取将影响降至最低。项目组已调整相关区域的施工顺序，优先进行其他系统的作业。

四、 下周（第二十一周）工作计划

1. 开始核心洁净区高架地板的安装工作。
2. 进行光刻机等核心设备的正式开箱、就位及初步调平。
3. 启动超纯水系统（UPW）模块的现场组装。
4. 继续推进工艺真空系统的管道安装。
5. 安排首批到货的国产工艺设备（如清洗机）进线安装。
6. 计划组织一次针对设备搬运与就位的专项安全演练。

五、 需协调与支持事项

提请公司总部协助加快部分长期交期关键备品备件（如设备专用滤芯）的采购审批流程，以确保后续设备调试的连续性。

报告部门： 江西万年芯微电子项目指挥部
日期： [请填写具体报告日期]